ไมโครโฟนเมมส์

โดยทั่วไปไมโครโฟน MEMS จะประกอบด้วยเซ็นเซอร์ไมโครคาปาซิทีฟ MEMS, วงจรแปลงสัญญาณแบบรวมขนาดเล็ก, ห้องเก็บเสียง และวงจรป้องกันการรบกวน RFหัวเก็บประจุไฟฟ้าระดับไมโคร MEMS ประกอบด้วยไดอะแฟรมซิลิคอนและอิเล็กโทรดด้านหลังซิลิคอนสำหรับรับเสียงไดอะแฟรมซิลิคอนสามารถรับสัญญาณเสียงได้โดยตรงและส่งไปยังวงจรรวมขนาดเล็กผ่านเซ็นเซอร์ไมโครความจุ MEMSวงจรรวมไมโครแปลงสัญญาณไฟฟ้าเสียงความต้านทานสูงและขยายเป็นสัญญาณไฟฟ้าความต้านทานต่ำกรองโดยวงจรป้องกันเสียงรบกวน RF ในเวลาเดียวกันและส่งสัญญาณไฟฟ้าที่ตรงกับวงจรก่อน " การแปลงเสียง-ไฟฟ้า” เสร็จสมบูรณ์จากการอ่านสัญญาณไฟฟ้า การรับรู้เสียงจะเกิดขึ้นได้