โดยทั่วไปไมโครโฟน MEMS จะประกอบด้วยเซ็นเซอร์ไมโครคาปาซิทีฟ MEMS, วงจรแปลงสัญญาณแบบรวมขนาดเล็ก, ห้องเก็บเสียง และวงจรป้องกันการรบกวน RFหัวเก็บประจุไฟฟ้าระดับไมโคร MEMS ประกอบด้วยไดอะแฟรมซิลิคอนและอิเล็กโทรดด้านหลังซิลิคอนสำหรับรับเสียงไดอะแฟรมซิลิคอน ...
อ่านเพิ่มเติม